线切割装置的主轮结构、其制作方法及线切割装置

摘要

本发明公开了一种线切割装置的主轮结构、其制作方法及线切割装置，主要是采用由出线端向入线端进行切割加工成型出若干环形的沟槽的方法，利用该方法所制作的主轮结构，其靠近出线端的环形的沟槽具有对称型态，可以是正V型或U型，可以有效补偿在出线端的因线损而形成小线径的线材，进而提高晶圆切片的良率，并延长主轮结构的使用寿命，进而达到节省成本的目的，本发明所提供的线切割装置是具有本发明主轮结构的线切割装置，具有本发明主轮结构所具有的优点及功效。

主权项

一种线切割装置的主轮结构的制作方法，其特征在于：所述主轮具有主轮本体，所述主轮本体具有相对的一个入线端和一个出线端，在所述主轮本体上用切割的方式从所述出线端开始向所述入线端加工成型出若干环形的沟槽，若干环形的沟槽之中靠近所述出线端的环形的沟槽为第一沟槽，若干环形的沟槽之中靠近所述入线端的环形的沟槽为第二沟槽，所述第一沟槽为具有对称型态的沟槽。