| 摘要 |
넓은 파장역에 걸쳐 보다 낮은 광 흡수 특성을 나타내면서, 또한 저저항의 산화물 투명 도전막을 얻을 수 있는 복합 산화물 소결체 및 산화물 투명 도전막을 제공한다. 인듐, 지르코늄, 하프늄 및 산소를 갖는 복합 산화물 소결체로서, 당해 소결체를 구성하는 원소의 원자비가 인듐, 지르코늄 및 하프늄의 함유량을 각각 In, Zr, Hf 로 했을 때에, Zr/(In＋Zr＋Hf) = 0.05 ∼ 4.5 at％ Hf/(In＋Zr＋Hf) = 0.0002 ∼ 0.15 at％ 인 것을 특징으로 하는 복합 산화물 소결체를 제공한다. |
