一种硅片切割冷却装置

摘要

本发明公开了一种硅片切割冷却装置，所述硅片切割冷却装置主要由砂浆管、用于注入悬浮液的注液部、用于固定冷却装置于硅片切割工作面附近的固持部以及用于冷却液喷出的喷嘴组成；所述砂浆管是中空的具有狭长腔室的柱体结构，所述腔室由顶板、两侧板以及底板围挡而成；所述注液部设置为多组并固定设置在所述顶板上，所述喷嘴由设置分离的所述一侧板和所述一底板形成；所述固持部位置可调的设置在所述砂浆管相对的两端部。采用本发明实施例的硅片切割冷却装置，冷却液能够直接作用在切割块附近，不但能够保证冷却效果，而且节省流量，结构合理，使用便捷。

主权项

一种硅片切割冷却装置，其特征在于，所述硅片切割冷却装置主要由砂浆管、用于注入悬浮液的注液部、用于固定冷却装置于硅片切割工作面附近的固持部以及用于冷却液喷出的喷嘴组成；所述砂浆管是中空的具有狭长腔室的柱体结构，所述腔室由顶板、两侧板以及底板围挡而成；所述注液部设置为多组并固定设置在所述顶板上，所述喷嘴由设置分离的所述一侧板和所述一底板形成；所述固持部位置可调的设置在所述砂浆管相对的两端部；在所述一侧板和所述一底板间设置分离形成一缺口，所述缺口沿所述砂浆管侧表面的底部的一端部延伸至相对的另一端部；所述喷嘴位于所述缺口处；形成所述缺口的所述一侧板和所述一底板间互成锐角；在所述腔室中分别设置上下排列的第一过滤板和第二过滤板；所述第一过滤板位于所述顶板的邻侧横跨设置在所述腔室中，呈狭长条状，其两端分别固定在所述砂浆管相对的两端，其表面间隔贯通开设过滤孔；所述第二过滤板位于所述底板的邻侧所述第一过滤板的下方，其横跨设置在所述腔室中，其两端亦分别固定在所述砂浆管相对的两端，所述第二过滤板表面间隔贯通开设过滤孔；所述第一过滤板的过滤孔和所述第二过滤板的过滤孔均为狭长状条形孔。