一种针尖增强拉曼测量用镀膜针尖的制备方法

摘要

本发明公开了一种针尖增强拉曼测量用新型镀膜针尖的制备方法。本发明包括如下步骤：步骤(1)利用聚焦离子束技术，在硅针尖头部加工出圆形的锥孔；步骤(2)银颗粒在针尖上的圆形锥孔内外形核并长大；步骤(3)将针尖固定在新型针尖夹具上；步骤(4)将新型针尖夹具放置在蒸发源正上方，控制蒸发源的蒸发速度和新型针尖夹具的转速，蒸发速度控制在小于等于0.1nm/秒钟,这样每分钟内生长6nm以内，新型针尖夹具的转速控制在30～60转/分钟，太慢的转速不利用形核生长，太快的转速对设备损害很大。本发明制备的针尖头部晶粒形状稳定，拉曼增强系数能达到500以上，增强效果明显，多个针尖共同测试的结果表明，增强系数非常稳定。

主权项

一种针尖增强拉曼测量用镀膜针尖的制备方法，其特征在于包括如下步骤：步骤(1)利用聚焦离子束技术，在硅针尖头部加工出圆形的锥孔，圆形锥孔的直径为90～110nm，深度在60～80nm；步骤(2)圆形锥孔镀膜，具体为银颗粒在针尖上的圆形锥孔内外形核并长大；步骤(3)将针尖固定在针尖夹具上，所述的针尖夹具包括针尖架下盖板、针尖架上盖板；针尖架下盖板截面为直角三角形，针尖的背面设置在针尖架下盖板的斜面；针尖架上盖板截面长方形，且其下表面的一端开有通槽，针尖的正面与针尖架上盖板的下表面通槽相接；针尖架上盖板的下表面通过M2螺钉固定在针尖架下盖板的斜面上，且针尖架上盖板通过通槽将针尖固定在针尖架下盖板的斜面上；所述的针尖的厚度为0.5mm，针尖架上盖板的厚度为4mm，其下表面通槽厚度为0.3mm；针尖架下盖板的其中一个斜角为30°；步骤(4)将针尖夹具放置在蒸发源正上方，控制蒸发源的蒸发速度和针尖夹具的转速，蒸发速度控制在小于等于0.1nm/秒钟,这样每分钟内生长6nm以内，针尖夹具的转速控制在30～60转/分钟。