| 发明名称 | Fe－Co系合金溅射靶材及其制造方法和软磁性薄膜层及使用了它的垂直磁记录介质 | ||
| 摘要 | 提供一种溅射中没有裂纹的Fe-Co系合金溅射靶材。该Fe-Co系合金溅射靶材，由下式(1)：(Fe<sub>X</sub>-Co<sub>100-X</sub>)<sub>100-Y</sub>M<sub>Y</sub>...(1)(式中，原子比是0≤X≤100，4≤Y≤28，M元素含有Nb、Ta、Mo、W、Cr和V中的一种或两种以上)所表示的Fe-Co-M系合金构成。该溅射靶材的显微组织具有以Fe和Co为主体的相、和由Fe与Co中的一种或两种及M元素所构成的金属问化合物相，在全体显微组织晶组织所占的面积为30％以下。 | ||
| 申请公布号 | CN104508167A | 申请公布日期 | 2015.04.08 |
| 申请号 | CN201380039755.6 | 申请日期 | 2013.08.12 |
| 申请人 | 山阳特殊制钢株式会社 | 发明人 | 长谷川浩之;泽田俊之;松原庆明 |
| 分类号 | C22C38/00(2006.01)I;C22C1/04(2006.01)I;C22C19/07(2006.01)I;C22C30/00(2006.01)I;C22C33/02(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;G11B5/667(2006.01)I;G11B5/851(2006.01)I;H01F10/16(2006.01)I;H01F41/18(2006.01)I | 主分类号 | C22C38/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 张玉玲 |
| 主权项 | 一种Fe‑Co系合金溅射靶材，其是由下式(1)所表示的Fe‑Co‑M系合金构成，(Fe<sub>X</sub>‑Co<sub>100‑X</sub>)<sub>100‑Y</sub>M<sub>Y</sub>... (1)式中，原子比是0≤X≤100，4≤Y≤28，M元素含有Nb、Ta、Mo、W、Cr和V中的一种或两种以上，其中，该溅射靶材的显微组织具有以Fe和Co为主体的相、和由Fe与Co中的一种或两种及M元素所构成的金属间化合物相，全体显微组织中共晶组织所占的面积为30％以下。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||