一种太阳能电池片制备系统

摘要

本发明公开了一种太阳能电池片制备系统，由电池片制绒抛光装置、清洗装置、氧化装置、扩散装置、刻蚀装置、PECVD装置、金属化装置依次连接组成；所述电池片制绒抛光装置包括依次连接的初步制绒槽、第一水槽、混酸清洗槽、第二水槽、抛光槽、第三水槽、制绒槽和第四水槽，以及设于各槽上方用于托送硅片的下滚轮。本发明提供的太阳能电池片制备系统，抛光硅片背面获得平坦的表面，而后只在正面制备出黑硅绒面结构，降低硅片正面反射率的同时，提高背面反射率，减小复合面积，从而提升电池的电压、电流和效率，有效提升黑硅电池电性能，并减少化学品的消耗。

主权项

一种太阳能电池片制备系统，由电池片制绒抛光装置、清洗装置、氧化装置、扩散装置、刻蚀装置、PECVD装置、金属化装置依次连接组成，其特征在于：所述电池片制绒抛光装置包括依次连接的初步制绒槽、第一水槽、混酸清洗槽、第二水槽、抛光槽、第三水槽、制绒槽和第四水槽，以及设于各槽上方用于托送硅片的下滚轮；所述初步制绒槽用于盛放初步制绒溶液，其上方设有用于下压硅片的上滚轮，在上滚轮和下滚轮的作用下，硅片从所述初步制绒溶液中穿过并进行初步制绒，去除损伤层；所述混酸清洗槽用于盛放清洗溶液，其上方设有用于下压硅片的上滚轮，在上滚轮和下滚轮的作用下，硅片从所述清洗溶液中穿过并去除杂质离子；所述抛光槽用于盛放抛光溶液，其上方设有与该抛光槽连接的水刀，所述抛光溶液通过水刀喷洒在硅片上表面进行抛光，硅片下表面不接触抛光溶液；所述制绒槽用于盛放制绒溶液，硅片在所述制绒溶液液面上进行下表面制绒，硅片上表面不接触制绒溶液。