一种蓝宝石微缺陷无损检测装置

摘要

本发明公开了一种蓝宝石微缺陷无损检测装置，该装置中激光器、分光镜和蓝宝石样品固定在光路直线导轨上的同一个水平面上；激光器发出的激光经分光镜分成两路：参考光和入射光，高清CCD1采集参考光信号传输到计算机；入射光照射蓝宝石样品后分为透射光和散射光，高清CCD2采集透射光信号传输到计算机，高清CCD3采集散射光信号传输到计算机，同步触发器使高清CCD1和高清CCD2同步对参考光和透射光进行采集。本发明对蓝宝石微/纳米级缺陷进行检测同，不受样品形状、尺寸的影响，可以在线检测、灵敏度高、重复性好、测量结果精确，不受衍射极限的限制，能分析由缺陷引起对应脉冲信号的衰减，便于标准化处理。

主权项

一种蓝宝石微缺陷无损检测装置，其特征在于，包括光路检测系统和缺陷信息分析系统；其中所述光路检测系统包括：激光器、分光镜和放置蓝宝石样品的载物工作平台；所述缺陷信息分析系统包括：高清CCD1、高清CCD2、高清CCD3、A/D转换器1、A/D转换器2、A/D转换器3和计算机；激光器、分光镜和蓝宝石样品固定在光路直线导轨上的同一个水平面上；所述激光器发出的激光经分光镜分成两路：参考光和入射光，所述高清CCD1采集参考光的光信号并通过A/D转换器1将光信号转换为数字信号传输到计算机；所述入射光照射蓝宝石样品后分为透射光和散射光，所述高清CCD2采集透射光的光信号并通过A/D转换器2将电信号转换成数字信号传输到计算机进行图像处理和光强分析；所述高清CCD3采集散射光的光信号并通过A/D转换器3将电信号转换成数字信号传输到计算机。