一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头

摘要

本发明是一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头，其光学结构为双方远心结构，物像共轭总长为l＝1500mm；其中物方视场为Φ120mm，物方数值孔径NA＝0.1。本镜头放大倍率β＝-1×，即按原比例成倒像于像面且质量较好，分辨力σ<3μm。该镜头设计工作波段为λ＝(365±10)nm紫外光，镜片数量少同时成像质量好，用于大视场，大数值孔径投影光刻成像。

主权项

一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头，其特征是：从物面沿光轴方向开始，共有8块镜片，依次为L1～L8；其中物面到光阑之间有4块镜片，光阑到像面之间有4块镜片；所述8块镜片中，L1、L4、L5为负透镜，其余为正透镜。