用于被检查对象的表面的检查的方法和装置

摘要

本发明涉及一种用于检查被检查对象(2)的表面(3)的方法和装置，其中，通过至少一个照射单元(8)照射所述表面(3)，并且通过至少一个面型图像传感器(6)记录所述表面(3)，其中，记录的图像被进给至图像分析装置(11)，所述图像分析装置(11)被设计为在检测处理中检测作为缺陷区的表面异常，并且可选地在分割工艺中相对于彼此或者相对于图像背景定界所述缺陷区，以在区域分析处理中组合关联的缺陷区，和/或在特征提取中从缺陷面或者缺陷区域导出特性缺陷，其中，将所述面型图像传感器(6)三维地标定到选择的坐标系统(5)上，并且相对于所述面型图像传感器(6)移动具有所述表面(3)的所述被检查对象(2)。通过三维地标定到选择的坐标系统(5)的投影装置(8)，将图形(10)投影到所述表面(3)的区域上，通过面型图像传感器(6)记录所述区域，并且在选择的坐标系统中确定所述投影图形(10)在所述对象(2)的所述表面(3)上的限定的图形部分的位置。

主权项

一种用于检查被检查对象(2)的表面(3)的方法，其中，所述表面(3)被至少一个照射单元(8)照射并且被至少一个面型图像传感器(6)捕获，其中，捕获的图像被发送至图像分析单元(11)，所述图像分析单元(11)被配置为在检测中将表面异常确定为缺陷区以及，若需要，将所述缺陷区相对于彼此或者相对于图像背景以分割的形式定界，以在区域分析中总结属于一起的缺陷区和/或在特征提取中从缺陷区或者缺陷区域导出特性缺陷，其中，将所述面型图像传感器(6)三维地标定到选择的坐标系统(5)上，并且相对于所述面型图像传感器(6)移动具有所述表面(3)的所述被检查对象(2)，其特征在于，通过被三维地标定到所述选择的坐标系统(5)上的投影单元(8)，将图形(10)投影到所述对象(2)的所述表面(3)的区上，通过所述面型图像传感器(6)捕获所述区，并且在于，在所述选择的坐标系统中，确定在所述对象(2)的所述表面(3)上的投影图形(10)的限定的图形部分的位置。