| 发明名称 | 流体传感器 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种流体传感器，其包括：一悬臂结构；一微纳米纤维阵列，该微纳米纤维阵列设置于所述悬臂结构的表面，所述微纳米纤维阵列包括多个微纳米纤维，该多个微纳米纤维的延伸方向基本一致且与所述悬臂结构的表面形成一夹角；一激光器，所述激光器发射的激光入射到所述悬臂结构的表面；以及一光电探测器，所述光电探测器接收从所述悬臂结构的表面反射的激光光线。 | ||
| 申请公布号 | CN204255405U | 申请公布日期 | 2015.04.08 |
| 申请号 | CN201420710693.9 | 申请日期 | 2014.11.24 |
| 申请人 | 清华大学;罗姆株式会社 | 发明人 | 徐志平;大西大;万宇 |
| 分类号 | G01D21/02(2006.01)I;B82Y35/00(2011.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 主分类号 | G01D21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 | 代理人 | 哈达 |
| 主权项 | 一种流体传感器，其包括：一悬臂结构；一微纳米纤维阵列，该微纳米纤维阵列设置于所述悬臂结构的表面，所述微纳米纤维阵列包括多个微纳米纤维，该多个微纳米纤维的延伸方向基本一致且与所述悬臂结构的表面形成一夹角；一激光器，所述激光器发射的激光入射到所述悬臂结构的表面；以及一光电探测器，所述光电探测器接收从所述悬臂结构的表面反射的激光光线。 | ||
| 地址 | 100084 北京市海淀区100084-82信箱 | ||