一种三维表面轮廓测量装置

摘要

本实用新型公开了一种三维表面轮廓测量装置。该装置包括光源、同轴照明观察装置、干涉物镜、面阵CCD相机、PZT、载物台。照明光路出射光朝向分光棱镜，分光棱镜的反射光朝向干涉物镜；PZT与干涉物镜依次同轴设置在分光棱镜的反射光轴方向上；干涉物镜与成像镜头设置在分光棱镜的两侧，构成干涉成像光路；面阵CCD相机设置在同轴照明观察装置的上方；干涉成像光路与照明光路通过分光棱镜衔接于一体，构成同轴照明观察装置；该三维表面轮廓测量装置结构简单，测量精度高。

主权项

一种三维表面轮廓测量装置，其特征在于：包括光源(1)、同轴照明观察装置、干涉物镜(4)、面阵CCD相机(6)、PZT(7)、载物台(9)、单色滤光片(11)；同轴照明观察装置使用同轴落射式柯勒照明结构(2)，包含沿照明光轴方向依次设置的集光镜(201)、反射镜(202)和聚光镜(203)，实现对被测工件(8)的照明；同时同轴照明观察装置内藏分光棱镜(3)和焦距200mm的成像镜头(5)；PZT(7)与干涉物镜(4)依次同轴设置在分光棱镜(3)的反射光轴方向上；干涉物镜(4)与成像镜头(5)设置在分光棱镜(3)的两侧，构成干涉成像光路；面阵CCD相机(6)设置在同轴照明观察装置的上方；干涉成像光路与照明光路通过分光棱镜(3)衔接于一体，构成同轴照明观察装置；载物台(9)设置在干涉物镜(4)的下方。