有机发光二极管显示器及其制造方法

摘要

本发明提供了有机发光二极管(OLED)显示器及其制造方法。OLED显示器包括：基板；有源层和电容器下电极，其位于所述基板上；栅绝缘层，其位于所述有源层和所述电容器下电极上；栅极，其位于栅绝缘层上的与所述有源层对应的位置处；电容器上电极，其位于所述栅绝缘层上的与所述电容器下电极对应的位置处；第一电极，其位置与所述栅极和所述电容器上电极分开；层间绝缘层，其位于所述栅极、所述电容器上电极和所述第一电极上；源极和漏极，其位于所述层间绝缘层上；和堤层，其位于所述源极和漏极上。

主权项

一种制造有机发光二极管显示器的方法，所述方法包括：在基板上形成有源层和电容器下电极；在所述有源层和所述电容器下电极上形成栅绝缘层；在所述栅绝缘层上顺序堆叠金属氧化物层和金属层，在所述金属层上涂覆第一感光层，并且使用第一半色调掩模对所述第一感光层进行构图以形成各具有不同厚度的第一感光图案和第二感光图案，蚀刻所述金属氧化物层和所述金属层以形成栅极图案、电容器上电极图案和第一电极图案，对所述第一感光图案和所述第二感光图案进行灰化以减小所述第一感光图案的厚度并且去除所述第二感光图案，蚀刻由于去除所述第二感光图案而被露出的所述电容器上电极的金属层和所述第一电极图案的金属层，以形成所述电容器上电极和所述第一电极并且去除所述第一感光图案以形成栅极、电容器上电极和第一电极；在所述栅极、所述电容器上电极和所述第一电极上形成层间绝缘层；在所述层间绝缘层上形成源极和漏极；在所述源极和所述漏极上涂覆第二感光层，并且使用第二半色调掩模对所述第二感光层进行构图，以形成堤层和间隔体；在所述第一电极上形成有机层；和在所述有机层上形成第二电极。