LED的群集工具

摘要

本发明大体而言提供了用于形成LED结构的装置和方法。本发明的一个实施例提供了一种用于制造复合氮化物结构的方法，包括：在第一处理腔室中，通过氢化物气相外延(HVPE)处理或金属有机化学气相沉积(MOCVD)处理在基板上形成包含第一III族元素和氮的第一层；在第二处理腔室中，通过MOCVD处理在第一层上形成包含第二III族元素和氮的第二层；以及通过MOCVD处理在第二层上形成包含第三III族元素和氮的第三层。

主权项

一种用于制造复合氮化物结构的方法，包括：在放置于第一处理腔室中的两个或更多个基板的每一个上形成III族氮化物层，其中，形成III族氮化物层包括：在HVPE前体源上方流入包括氯气的活性气体，以形成第一反应产物，其中所述第一反应产物包括氯化镓或氯化铝；以及将所形成的反应产物流向放置于所述第一处理腔室内的所述两个或更多个基板；在受控环境中，将所述两个或更多个基板从所述第一处理腔室移送至第二处理腔室；在所述第二处理腔室中，在所述III族氮化物层上形成三元III族氮化物层；在受控环境中，将所述两个或更多个基板从所述第二处理腔室移送至第三处理腔室；以及在所述第三处理腔室中，在所述三元III族氮化物层上形成第一掺杂III族氮化物层。