| 摘要 |
<p>본 발명은 마스크 제조 공정이나 마스크 사용 시의 세정 등에 의한 다층 반사막의 막 벗겨짐을 방지할 수 있는 반사형 마스크 블랭크를 제공한다. 본 발명의 반사형 마스크 블랭크는 기판상에 다층 반사막, 보호막, 흡수체막 및 레지스트막이 차례로 형성되어 있다. 기판의 중심에서부터 다층 반사막의 외주단까지의 거리를 L(ML), 기판의 중심에서부터 보호막의 외주단까지의 거리를 L(Cap), 기판의 중심에서부터 흡수체막의 외주단까지의 거리를 L(Abs), 기판의 중심에서부터 레지스트막의 외주단까지의 거리를 L(Res)로 했을 때, L(Abs)＞L(Res)＞L(Cap)≥L(ML)이고, 또한 레지스트막의 외주단은 기판의 외주단보다 내측에 존재한다.</p> |
