摘要 |
<p>태양전지용 표면처리된 도전성 유리 제조 방법이 개시된다. 태양전지용 표면처리 도전성 유리에 있어서, 투명 도전막이 유리 기판에 코팅되고, 이 투명 도전막의 상부 표면은 균일하게 분포된 나노 또는 마이크로 크기의 U자 모양의 구체가 부착되어 질감을 형성한다. 제조 방법은, 마그네트론 스퍼터링에 의해서 투명 도전막을 코팅하고, 침지 코팅 방식을 이용하여 투명 도전막의 표면 위에 마스크로서 나노 또는 마이크로 구체를 흡착시키고 난 후, 마그네트론 스퍼터링에 의해서 나노 또는 마이크로 구체들 사이의 틈에서 투명 도전막의 두께를 증가시키고, 마지막으로 초음파 진동 방식을 이용하여 나노 또는 마이크로 구체를 제거함으로써 U자 모양의 표면 질감을 갖는 대형 저비용의 도전성 유리의 생산을 실현한다. 이상의 방법에 의해 얻어진 도전성 유리는 높은 재현성, 적절한 U자 모양의 표면 질감, 높은 분포 균일 성, 높은 생산 효율성, 낮은 생산 비용을 가지며, 따라서 보급 및 응용에 적합하다.</p> |