| 摘要 |
<p>제조 시스템은, 스왑 모듈(swap module)과 같은, 컨베이어 시스템으로부터 작업 영역으로 작업물들을 이동시키기 위한 엔드 이펙터(end effector)를 갖는 갠트리 모듈(gantry module)을 포함한다. 스왑 모듈은 로드 락(load lock)으로부터 프로세싱된 작업물들의 매트릭스를 제거하고, 프로세싱되지 않은 작업물들의 매트릭스를 제 위치에 위치시킨다. 그 후 프로세싱된 작업물들이 갠트리 모듈에 의해 다시 컨베이어로 이동된다. 동작 속도에 기인하여, 엔드 이펙터가 과도한 정전하를 축적할 수 있다. 이러한 축적된 전하를 제거하기 위하여, 접지된 전기-전도성 브러시들이 전략적으로 위치되어, 정상 동작 동안 엔드 이펙터가 이동함에 따라 전하가 이러한 브러시들과 접촉하게 된다. 이는 스루풋에 영향을 주지 않고 엔드 이펙터 상의 축적된 전하를 제거한다. 다른 실시예에 있어, 엔드 이펙터가 브러시들 위로 이동하며, 그 동안 스왑 모듈이 로드 락으로 및 로드 락으로부터 매트릭스를 이동시킨다.</p> |
