| 摘要 |
<p>본 발명은 가이드 바가 구비된 기판 지지대와 이를 구비한 공정 챔버 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 기판 지지대는 피처리 기판이 놓이는 일 표면을 갖는 바디와 상기 피처리 기판을 인계 받아 업/다운 시키는 리프트 핀과 상기 피처리 기판이 상기 리프트 핀에 인계 시 발생되는 흔들림을 예방 및 방지하는 가이드 바와 상기 리프트 핀과 상기 가이드 바의 업/다운 동작을 구동하는 구동부가 포함 되어 구성된다. 이에 따라 상기 피처리 기판의 로딩/ 언 로딩을 하기위하여 상기 피처리 기판의 인계 시 발생되는 흔들림으로 정위치가 틀어지는 경우 가이드 바를 이용하여 피처리 기판의 위치를 정렬할 수 있다.</p> |
