| 摘要 |
고품질의 Cu-Ga 합금 분말을 용이하게 제조할 수 있는 Cu-Ga 합금 분말의 제조 방법 및 Cu-Ga 합금 분말, 그리고 Cu-Ga 합금 스퍼터링 타겟의 제조 방법 및 Cu-Ga 합금 스퍼터링 타겟을 제공한다. 본 발명은, Cu 분말과 Ga가 질량비 85:15∼55:45의 비율로 배합된 혼합 분말을, 불활성 분위기중에서 30∼700℃의 온도에서 교반하여 합금화함으로써 Cu-Ga 합금 분말을 얻는다. 또, 이 Cu-Ga 합금 분말을 성형하여 소결함으로써, Cu-Ga 합금 스퍼터링 타겟을 얻는다. |
