| 摘要 |
<p>본 발명은 외부 공기를 여과할 뿐만 아니라 온도 및 습도를 조절하여 크린룸으로 공급하는 크린룸용 외조기에 관한 것이다. 본 발명에 따른 크린룸용 외조기는 본체 케이싱(10)이 중간 수직격막(11)에 의해 제 1 챔버(12)와 제 2 챔버(13)로 구분되고, 제 1 챔버(12)의 흡기구(12a)에 필터(15)가 장착되고, 제 2 챔버(13)와 급기 챔버(14)가 히팅 코일(20)에 의해 구분되며, 중간 수직격막(11)의 하부 구멍(11a)에 냉각 코일(30)이 장착되고, 중간 수직격막(11)의 상부 구멍(11b)에 순환 팬(40)이 장착되며, 급기 챔버(14)의 급기구(14a)에 급기 팬(50)이 장착되는 것을 특징으로 한다.</p> |
