发明名称 ELECTRON MICROSCOPE AND ELECTRON BEAM DETECTOR
摘要 <p>신틸레이터(7)와 라이트 가이드(8)를 구비한 전자 현미경에 있어서, 신틸레이터(7)는 라이트 가이드(8)의 굴절률보다도 큰 굴절률을 갖고, 라이트 가이드(8)에 접합되는 단부면(72)이 외측으로 볼록한 형상의 곡면에 의해 형성되어 있다. 또한, 신틸레이터(7)는 조성식 (LnCe)MO(단, Ln은 Y, Gd, La 및 Lu로부터 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내고, M은 Al 및 Ga로부터 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타냄)로 표시되는 Y-Al-O계 세라믹 소결체로 형성되어 있다.</p>
申请公布号 KR20150036579(A) 申请公布日期 2015.04.07
申请号 KR20157003786 申请日期 2013.08.09
申请人 发明人
分类号 H01J37/244 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
主权项
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