POLYMERIC MATERIALS AND METHODS FOR MAKING THE POLYMERIC MATERIALS
摘要
<p>중합체 물질, 중합체 물질의 제조방법 및 이 중합체 물질을 이용하는 포토레지스트 포뮬레이션이 개시된다. 한 관점으로서, m-크레졸, p-크레졸, 3,5-디메틸 페놀 및 2,5-디메틸 페놀을 함유하는 페놀계 단량체 조성물과 알데하이드를 함유하는 반응 혼합물의 축합 산물을 포함하는 중합체 물질이 제공된다. 이 중합체 물질은 추가로 광활성 화합물 및 용매와 접촉하여 포토레지스트 포뮬레이션을 형성할 수 있다.</p>
