| 摘要 |
소정의 이동면 (16a) 을 구비한 고정부 (16) 와, 이동면 (16a) 을 따라 제 1 방향을 포함하는 복수의 방향으로 이동할 수 있는 제 1 이동체를 갖는다. 제 1 이동체의 이동과 동기하여, 이동면 (16a) 에 대하여 제 1 방향으로 이동하는 서브스테이지 (61A, 61B) 와, 서브스테이지 (61A, 61B) 에 적어도 일부가 형성되고, 서브스테이지 (61A, 61B) 와 이동면 (16a) 사이의 제 1 방향의 상대 위치에 관한 정보를 검출하는 제 1 계측 장치 (67) 와, 서브스테이지 (61A, 61B) 에 적어도 일부가 형성되고, 서브스테이지와 제 1 이동체 사이의 제 1 방향과 거의 직교하고 또한 이동면 (16a) 을 따르는 제 2 방향의 상대 위치에 관한 정보를 검출하는 제 2 계측 장치 (71, 72) 를 갖는다. |
