| 摘要 |
금속층의 양면에 절연층이 적층되어 이루어지는 적층 필름에 대해서, 적층 필름을 관통하고 있지 않은 결함을 검사할 수 있는 검사 방법을 제공한다. 본 발명의 검사 방법은, 금속층의 양면에 절연층이 적층되어 이루어지는 적층 필름의 결함을 검사하는 검사 방법이며, 전압 인가 공정 및 검지 공정을 갖는다. 전압 인가 공정은, 적층 필름의 표면에 도전성의 액체를 공급하면서, 당해 액체가 공급되는 적층 필름의 표면에 접촉하는 제1 전극과 적층 필름의 단부로부터 노출하는 금속층의 단부에 접촉하는 제2 전극 사이에 전압을 인가한다. 검지 공정은 전압이 인가되는 제1 및 제2 전극 사이의 통전 상태를 검지한다. |
