| 摘要 |
<p>하전 입자선 장치(1c)에 사용되는 하전 입자선 장치용 부재(56)는, 케이싱(3c)에 부착되는 케이싱(55)과, 케이싱(55)에 마련된 격막 소자(18a)를 갖는다. 격막 소자(18a)에는, 케이싱(3c)과 케이싱(55)에 의해 구획된 진공실(4a)의 내부의 압력이 외부의 압력보다 감압된 상태에서, 진공실(4a)의 내부와 외부를 기밀하게 격리함과 함께, 하전 입자선을 투과시키는 격막(19)이 형성되어 있다. 또한, 격막 소자(18a)에는, 시료(12)와 격막(19)이 접촉하는 것을 방지하는 완충막(33)이, 격막(19)보다 시료 스테이지(22) 측에 위치하도록 형성되어 있다.</p> |
