发明名称 MAGNETIC DEVICE AND LITHOGRAPHIC APPARATUS
摘要 자기 디바이스로서, 제 1 부분(FP), 제 2 부분(SP), 상기 제 1 부분에 커플링되고 제 1 자기 분극을 가지는 제 1 자기부(MP1), 상기 제 2 부분에 커플링되고 제 2 자기 분극을 가지는 제 2 자기부(MP2), 및 상기 제 1 부분에 커플링되고 및 추가적 자기 분극을 가지는 추가적 자기부(AMP)를 포함하고, 상기 제 1 자기부 및 제 2 자기부는 서로 자기적으로 상호작용하도록 구성되며, 상기 제 1 자기부는 제 1 힘을 상기 제 2 자기부 상에 작용시키고, 상기 제 2 자기부는 제 2 힘을 상기 제 1 자기부 상에 작용시키며, 그리고 상기 제 1 힘 및 제 2 힘은 기준 방향(RD)에 평행한 반대 방향을 가지고, 상기 제 1 자기 분극은 상기 기준 방향에 실질적으로 평행하고, 상기 제 2 자기 분극은 상기 기준 방향에 실질적으로 수직이며, 상기 추가적 자기 분극은 상기 제 1 자기 분극과 소정 각도를 이루고, 그리고 상기 각도는 약 90° 내지 약 270°의 범위 내에 있는, 자기 디바이스.
申请公布号 KR20150036516(A) 申请公布日期 2015.04.07
申请号 KR20157003548 申请日期 2013.06.18
申请人 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 发明人 분 피델루스 아드리아누스;피셔 올로프 마르티누스 요세푸스
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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