| 摘要 |
<p>주입기 내의 조절형 전원 공급 시스템(230)의 사용에 의해 전압의 글리치가 최소화되는 이온 주입 시스템 및 방법이 개시된다. 조절형 전원 공급 시스템은 종래의 전원 공급장치(300) 및 각각의 전원 공급장치와 연관된 제어 유닛(310)을 포함하며, 여기에서 제어 유닛은 글리치 또는 아크가 검출되는 경우 소스 스위치(321)를 개방함으로써 전극으로부터 전원 공급장치를 분리하고, 방전 스위치(331)를 닫음으로써 전극 상의 임의의 전하를 접지로 빠르게 소산시키기 위해 사용된다. 그 후 제어 유닛은 글리치 상황이 교정된 후 전원 공급장치와 전극 간의 연결성을 복원한다.</p> |
