| 摘要 |
<p>견본의 구조적 파라미터는 조합된 분석에서 서로 다른 측정 기술에 의해 수집되는 측정결과를 견본의 응답 모델에 피팅함으로써 결정된다. 적어도 2개의 서로 다른 측정 기술에 대한 견본 응답의 모델은 적어도 하나의 공통 기하학 파라미터를 공유한다. 일부 실시예들에서, 모델 구축 및 분석 엔진은 적어도 하나의 공통 파라미터가 분석 동안 커플링되는 x-레이 및 광학 분석을 수행한다. 측정 데이터를 이용한 응답 모델의 피팅은 순차적으로, 병렬로 또는 순차적 및 병렬 분석의 조합에 의해 이루어질 수 있다. 추가적인 양상에서, 응답 모델의 구조는 모델과 대응하는 측정 데이터 간의 피트의 품질에 기초하여 변경된다. 예를 들어, 견본의 기하학 모델은 응답 모델과 대응하는 측정 데이터 간의 피트에 기초하여 재구성된다.</p> |
