| 摘要 |
<p>본 발명은 플라즈마 진단장치 및 진단방에 관한 것으로서, 엔탈피 탐침을 가운데에 두고, 엔탈피 탐침의 보호관 (2) 외경보다 큰 내경을 가지면서, 엔탈피 탐침과 동축으로 배열된 별도의 수냉식 외부관 (3); 이 수냉식 외부관과 종래의 엔탈피 탐침 사이에 일정 간격을 두고 형성된 환형 간극 (4); 상기 엔탈피 탐침의 기체 포집관 (1), 보호관 (2), 수냉식 외부관 (3), 환형 간극 (4)을 차례대로 수용하고 지지하며 각 관 및 간극을 기능에 맞게 압력계, 냉각수 공급장치, 기체 분석기 등으로 연결하는 통로 역할을 하는 하우징 (5); 상기 하우징을 통해 기체 포집관 (1)과 연결되어 포집관 내부로 전달되는 탐침 전면의 전압을 측정할 수 있는 압력계 (6)와 포집 기체의 성분 분석이 가능한 기체 분석기 (7); 상기 하우징을 통해 보호관 (2)과 연결되어 냉각수의 공급 및 퇴출을 담당하는 냉각수 주입구 (8) 및 출구 (9); 상기 하우징과 연결되어 보호관 (2)의 냉각수를 수냉식 외부관 (3) 에 공급하기 위한 연결배관 (10); 냉각수 주입구 (8), 출구 (9) 및 연결배관 (10)에 설치된 열전대 (11,12,13,14)와 냉각수 출구 (9)에 설치된 유량계 (15); 상기 하우징을 통해 환형 간극 (5)과 연결되어 간극을 통해 전달되는 탐침 전면의 표면 압력을 측정할 수 있는 압력계 (16) 를 포함한다.</p> |
