COMBINED PUMPING SYSTEM COMPRISING A GETTER PUMP AND AN ION PUMP
摘要
<p>게터 펌프(120; 220)와 이온 펌프(130; 230)를 포함하는 조합형 펌핑 시스템이 기재되어 있다. 게터 펌프와 이온 펌프(120, 130; 220, 230)는 동일한 플랜지(111; 211) 상에 직렬로 장착되어 있고, 그 반대 측부 상에 각각 배열되어 있어서, 게터 펌프와 이온 펌프 컨덕턴스 양자 모두는 시스템의 진공 수준을 개선하기 위해 진공 챔버 내의 가스 플럭스 공급원을 향해 최대화된다.</p>
