一种双面太阳能电池的制备方法

摘要

本发明公开了一种双面太阳能电池的制备方法，包括以下步骤：A．在P型硅片正面形成绒面；B．扩散形成PN结；C．去磷硅玻璃；D．在所述P型硅片正面形成减反膜；E．在所述P型硅片背面沉积第二本征非晶硅层；F．在所述第二本征非晶硅层上沉积N型非晶硅层；G．在所述N型非晶硅层上沉积第一本征非晶硅层；H．在所述第一本征非晶硅层上沉积P型非晶硅层；I．采用磁控溅射方法在所述P型非晶硅层上沉积TCO层；J．丝网印刷正面电极和背面电极；K．烧结，形成双面太阳能电池。采用本发明，可克服现有双面电池背面的弱光响应较差的技术问题，正背面都能实现载流子分离，能有效地提高电池光电转换效率，且成本低廉。

主权项

一种双面太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：A．在P型硅片正面形成绒面；B．通过扩散在所述P型硅片正面形成N型发射极，并在所述P型硅片和所述N型发射极之间形成PN结；C．去磷硅玻璃；D．在所述P型硅片正面形成减反膜；E．在所述P型硅片背面沉积一层厚度为3‑5nm的第二本征非晶硅层；F．在所述第二本征非晶硅层上沉积N型非晶硅层；G．在所述N型非晶硅层上沉积一层厚度为10‑1500nm的第一本征非晶硅层；H．在所述第一本征非晶硅层上沉积P型非晶硅层；I．采用磁控溅射方法在所述P型非晶硅层上沉积TCO层；J．丝网印刷正面电极和背面电极； K．烧结，形成双面太阳能电池。