发明名称 Device and method for separating, at least partially drying and inspecting electronic components
摘要 본 발명은, 분리 수단, 전자 부품들을 위한 캐리어, 복사열을 발생하기 위한 가열 소스, 가열 소스에 대해 전자 부품들을 위한 캐리어를 변위시키기 위한 변위 수단, 및 시각적 검사 수단을 포함하는, 전자 부품들을 분리, 적어도 부분적으로 건조 및 검사하기 위한 장치에 관한 것이다. 가열 소스는 분리된 전자 부품들 상에 존재하는 수분을 선택적으로 가열 및 증발시키기 위해 복사열을 발생하도록 구성된다.
申请公布号 KR20150035600(A) 申请公布日期 2015.04.06
申请号 KR20147034968 申请日期 2013.07.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;H01L21/66;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/78 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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