PHOTOCURED PRODUCT AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME

摘要

광 임프린트 방법을 사용해서 제조되며 우수한 패턴 정확도 및 패턴 결함의 개선을 나타내는 광경화물을 제공하고자 한다. 본 발명은 몰드와 접촉된 코팅막에 광을 조사함으로써 얻어지는 광경화물을 제공하며, 상기 광경화물은 플루오린 원자 함유 계면활성제를 함유하고, 비행 시간형 2차 이온 질량 분석법에 근거한 광경화물의 표면 분석에 의해 얻은 2차 이온 신호들 중에서, CHO이온 신호의 강도가 CHO이온 신호의 강도보다 더 높다.