薄膜太陽電池セルおよびその製造方法、集積型薄膜太陽電池

摘要

基板における粗面化されて凹凸を有する一面上に、第１電極層と光電変換を行う発電層４と第２電極層とをこの順で有する薄膜太陽電池セル１０であって、前記基板と前記第１電極層との間における少なくとも前記凹凸の凹底部に、膜厚が前記凹凸の凸頂部から前記凹凸の凹底部に向かって厚くなり前記凹凸を緩和する凹凸緩和膜２を備え、前記凹凸緩和膜２は、前記第１電極層側の表面に形成された凹凸の凹底部における曲率半径が０．５μｍ以上且つ１０μｍ以下である。