摘要 |
<p>多段差動排気系の質量分析装置において、第2中間真空室(3)と第3中間真空室(4)を隔てる隔壁に設けられたイオンレンズ(13)の開口の周縁部が、前段の第2イオンガイド(12)の後縁端の内接円と後段の第3イオンガイド(14)の前縁端の内接円とを最短で接続する仮想的な筒状体の周面の外側に位置するように、各イオンガイド(12、14)の内接円半径とイオンレンズ(13)の開口のサイズが定められている。それによって、イオンレンズ(13)が間に配置されているものの、第2イオンガイド(12)による高周波電場と第3イオンガイド(14)による高周波電場とはイオンレンズ(13)の開口を通して実質的に繋がり、第2イオンガイド(12)から第3イオンガイド(14)へと効率よく、つまり少ない損失でイオンが輸送され、より多くのイオンを質量分析に供することができる。その結果、検出感度を向上させることができる。</p> |