| 摘要 |
<p>본 발명은 웨이퍼의 장착 및 수용을 위한 수용 수단에 관한 것으로, -장착 표면(1o), -장착 표면(1o) 상에 웨이퍼를 장착하기 위한 장착 수단 및 -웨이퍼의 국부적인 및/또는 전체적인 뒤틀림의 능동, 특히 국부적으로 제어 가능한, 적어도 국부적인 교정을 위한 교정 수단(3, 4, 5, 6)을 포함한다. 게다가, 본 발명은 전술된 수용 수단을 사용하여 제1 웨이퍼와 제2 웨이퍼를 정렬하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.</p> |
