发明名称 多層配線基板、プローブカード及び多層配線基板の製造方法
摘要 実装面における配線ピッチが小さな多層配線基板を提供する。多層配線基板1は、基板本体12と、複数の配線14とを備えている。基板本体12は、第1及び第2の主面12a、12bを有する。複数の配線14は、基板本体12内において、第1の主面12aから第2の主面12b側に向かって設けられている。基板本体12は、積層された複数の絶縁体層13を有する。配線14は、複数の絶縁体層13のそれぞれに設けられたビア導体15を含む。複数の配線14の少なくとも一つにおいて、基板本体12の第1の主面12aを構成している絶縁体層である第1の絶縁体層13aに設けられたビア導体15aの径は、複数の絶縁体層13の第1の絶縁体層13a以外の絶縁体層の少なくとも一つに設けられているビア導体15の径よりも小さい。
申请公布号 JPWO2013058351(A1) 申请公布日期 2015.04.02
申请号 JP20130539696 申请日期 2012.10.19
申请人 株式会社村田製作所 发明人 酒井 範夫;大坪 喜人
分类号 H05K3/46 主分类号 H05K3/46
代理机构 代理人
主权项
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