| 摘要 |
互いに平行に設置された一対のガイドレール（１５）に沿って移動するスライダ（１６）を備えたリニアガイド（１３）に両側下部が支持されたステージ（１２）と、ステージをガイドレールに沿って移動させるリニアサーボモータ（１４）とを備えたレーザ加工機用ステージ装置において、リニアサーボモータとしてコア付タイプのリニアサーボモータを使用し、リニアサーボモータの固定子（１７）をガイドレールの外側のガイドレールより高い位置にステージ側を向いた状態で配置するとともに、リニアサーボモータの移動子（１８）を、ステージの両側部で固定子のステージ側に対向する位置に配置する。これにより、ステージ自体の重量によるステージ部の下方への撓みを解消することができ、レーザ光による超微細加工も確実に行うことができる。 |
