摘要 |
放電の繰り返しによる放電特性の劣化と、ガラス成分の拡散による過焼結とを抑制することができるESD保護デバイスを提供する。複数の絶縁層が積層された絶縁性多層基板12の内部に、空洞部13と、少なくとも一対の放電電極14,15と、導体部34,35とが形成される。放電電極14,15は、空洞部13の内面に沿って形成され間隔を設けて互いに対向する対向部14a,15aを有し、外部電極18,19と接続されている。導体部34,35は、絶縁性多層基板12の絶縁層が積層された積層方向、放電電極14,15の対向部14a,15aが互いに対向する対向方向、又は積層方向と対向方向との両方に対して垂直な方向に透視したときに放電電極14,15の対向部14a,15aの互いに対向する先端14s,15sの少なくとも一方を覆うように、形成される。 |