摘要 |
Die vorliegende Erfindung schafft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Bestimmen von Größen von Partikeln in einem Fluid. Weiterhin schafft sie ein Verfahren zum Bestimmen einer Anzahl von Partikeln in einem Fluid sowie Herstellungsverfahren für die erfindungsgemäße Vorrichtung. Das Verfahren zum Bestimmen von Größen von Partikeln in einem Fluid weist auf: eine Linsenoptik (5) mit einer Laser-Absorptionseinrichtung (10), welche von einer Laserquelle (20) ausgestrahlte ungestreute Laserstrahlen (22) absorbiert, wobei die Laser-Absorptionseinrichtung (10) von einer ersten, zweiten und dritten Linse (41, 42, 43) umfasst ist, wobei die erste Linse (41) gestreute Laserstrahlen (24 auf die zweite Linse (42) und/oder die dritte Linse (43) lenkt, wobei die zweite Linse (41) Laserstrahlen (26), welche ausgehend von der ersten Linse (41) auf die zweite Linse (42) auftreffen, im Wesentlichen auf einen ersten Photodetektor (51) lenkt, erste Messsignale erzeugt, wobei die dritte Linse (43) Laserstrahlen (26‘), welche ausgehend von der ersten Linse (41) auf die dritte Linse (43) auftreffen, im Wesentlichen auf einen zweiten Photodetektor (52) lenkt, welcher zweite Messsignale erzeugt; und eine Auswerteeinrichtung (53), welche die Messsignale der beiden Photodetektoren (51, 52) zum Bestimmen der Größen der Partikel (30) auswertet. |