Verfahren zum Herstellen einer photovoltaischen Solarzelle mit zumindest einem Heteroübergang

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer photovoltaischen Solarzelle mit zumindest einem Heteroübergang, folgende Verfahrensschritte umfassend: A Bereitstellen eines Halbleitersubstrats mit einer Basisdotierung; B Erzeugen eines Heteroübergangs an zumindest einer Seite des Halbleitersubstrates, welcher Heteroübergang eine dotierte Heteroübergangsschicht und eine mittelbar oder unmittelbar zwischen Heteroübergangsschicht und Halbleitersubstrat angeordnete dielektrische Tunnelschicht aufweist; C Erwärmen zumindest der Heteroübergangsschicht zum Verbessern der elektrischen Güte des Heteroübergang; Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass in einem Verfahrensschritt D nach Verfahrensschritt C Wasserstoff in die Heteroübergangsschicht und/oder an die Grenzfläche zwischen Tunnelschicht und Halbleitersubstrat eindiffundiert wird.