| 摘要 |
<p>일 실시예는 제조된 기판 상의 결함들을 검출하기 위한 장치에 관한 것이다. 장치는 제조된 기판으로부터 이미지 프레임들을 획득하기 위해 배치된 이미징 툴을 포함한다. 장치는 데이터 처리 시스템을 더 포함하고, 데이터 처리 시스템은 이미지 프레임의 픽셀들에 대한 특징들을 계산하고, 이미지 프레임의 픽셀들을 픽셀들의 특징 정의된 그룹들로 분할하도록 구성된 컴퓨터 판독 가능한 코드를 포함한다. 컴퓨터 판독 가능한 코드는, 또한 특징 정의된 그룹을 선택하며고, 선택된 특징 정의된 그룹에 대해 다차원 특징 분포를 생성하도록 구성된다. 다른 실시예는 테스트 이미지 프레임 및 다수의 기준 이미지 프레임들로부터 결함들을 검출하는 방법에 관한 것이다. 다른 실시예들, 양태들 및 특징들이 또한 개시된다.</p> |
