熱的に強化された処理液を生成する装置および方法

摘要

洗浄システム（１０ａ）であって、供給液を供給するように構成された液体源（１２）と、供給液を受け、供給液を電気化学的に活性化して電気化学的活性化液を供給するように構成された電解セル（１８）であって、電気化学的活性化液が加熱されるように、電気化学的活性化により供給液の加熱も行う電解セルと、電気化学的活性化液を吐出するように構成されたディスペンサ（２０）とを備える洗浄システム。