転写金型及び転写金型の製造方法

摘要

耐久性に優れ、正確なパターン形成を可能にする転写金型を提供する。本発明の転写金型は第１金属層と、第１金属層上面のメッシュ状の網と、網を介して第１金属層上にメッキ成長された第２金属層と、を有する。網は、バネ性のあるＳＵＳ板、インバー合金、又は樹脂からなることが好ましい。第１及び第２金属層は、ニッケル、コバルト、タングステン、クロム、パラジウム、オスミウム、ルビジウムおよびそれらの合金のうちいずれか一つからなることが好ましい。転写金型は、電鋳法により形成されてもよい。