摘要 |
Es wird ein Bauelement für elastische Wellen bereitgestellt, das günstige Eigenschaften aufweist und in der Lage ist, eine Reaktion durch einen Modus hoher Ordnung zu unterdrücken. Ein Bauelement für elastische Wellen 1 wird bereitgestellt, in dem ein Film 3 mit hoher Schallgeschwindigkeit, in dem sich eine Volumenwelle mit einer höheren Schallgeschwindigkeit ausbreitet als eine elastische Welle, die sich in einem piezoelektrischen Film 5 ausbreitet, auf ein Stützsubstrat 2 laminiert ist, ein Film 4 mit niedriger Schallgeschwindigkeit, in dem sich eine Volumenwelle mit einer geringeren Schallgeschwindigkeit ausbreitet als eine Volumenwelle, die sich in dem piezoelektrischen Film 5 ausbreitet, auf den Film 3 mit hoher Schallgeschwindigkeit laminiert ist, der piezoelektrische Film 5 auf den Film 4 mit niedriger Schallgeschwindigkeit laminiert ist, und eine IDT-Elektrode auf eine Fläche des piezoelektrischen Films 5 laminiert ist. In dem beschriebenen Bauelement beträgt in einer oberen Struktursektion von dem Film mit hoher Schallgeschwindigkeit ein Energiekonzentrationsverhältnis eines Hauptmodus, der während des Gebrauchs eine elastische Welle ist, mindestens 99,9%, und ein Energiekonzentrationsverhältnis eines Modus hoher Ordnung, der ein Störsignal ist, beträgt maximal 99,5%. |