| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine Positioniervorrichtung zum Bewegen eines Substrats, mit: - einer Basis (10), und mit - einem relativ zur Basis (10) beweglichen sowie mittels Magnetlagerung (18) berührungslos an der Basis (10) angeordneten Träger (12), wobei die Magnetlagerung (18) zumindest eine Dauermagneteinheit (20) und zumindest eine erste Elektromagneteinheit (30) aufweist, wobei die Dauermagneteinheit (20) zur Erzeugung einer auf den Träger (12) einwirkenden Stützkraft (S) ausgebildet ist, die größer als die Gewichtskraft (G) des Trägers (12) ist und wobei die erste Elektromagneteinheit (30) zur Erzeugung einer der Stützkraft (S) entgegenwirkenden Regulierkraft (R) ausgebildet ist.</p> |
