发明名称 Metallumverdrahtungsschicht für geformte Substrate
摘要 Integrierte Schaltungen werden gekapselt, indem mehrere Halbleiter-Dies auf einem Stützsubstrat platziert werden, wobei jeder einzelne der Halbleiter-Dies mehrere Anschlüsse auf einer dem Stützsubstrat zugewandten Seite besitzt, und die Halbleiter-Dies mit einer Formmasse bedeckt werden, um eine geformte Struktur auszubilden. Das Stützsubstrat wird dann von der geformten Struktur entfernt, um die Seite der Halbleiter-Dies mit den Anschlüssen zu exponieren, und eine Metallumverdrahtungsschicht wird auf der geformten Struktur und in direktem Kontakt mit den Anschlüssen der Halbleiter-Dies und der Formmasse ausgebildet. Die Umverdrahtungsschicht wird ausgebildet, ohne zuerst eine Dielektrikumsschicht auf einer Seite der geformten Struktur mit den Anschlüssen der Halbleiter-Dies auszubilden. Ein entsprechendes geformtes Substrat und individuelle geformte Halbleiter-Packages werden ebenfalls offenbart.
申请公布号 DE102014114004(A1) 申请公布日期 2015.04.02
申请号 DE201410114004 申请日期 2014.09.26
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 WACHTER, ULRICH;MAIER, DOMINIC;KILGER, THOMAS
分类号 H01L21/60;H01L21/56;H01L23/28;H01L23/48;H01L23/50 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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