| 摘要 |
<p>전기적인 접속을 행하는 인터페이스 부분에 있어서의 결로를 확실히 방지할 수 있는 반도체 검사 시스템 및 인터페이스부의 결로 방지 방법을 제공한다. 피측정체에 프로브를 접촉시켜 전기적 도통을 얻는 프로브 기구와, 상기 피측정체에 검사 기호를 공급함과 아울러 상기 피측정체의 출력 신호를 검출하여 검사를 행하는 테스터와, 상기 프로브와 상기 테스터를 전기적으로 접속하는 인터페이스부와, 상기 인터페이스부를 기밀하게 유지하기 위한 진공 시일 기구와, 상기 인터페이스부내로부터 배기하여 감압 분위기로 하기 위한 배기 기구와, 배기된 상기 인터페이스부내에 유량 제어하면서 건조 기체를 공급하는 건조 기체 공급 기구를 구비한 것을 특징으로 한다.</p> |
