发明名称 |
環状化合物、その製造方法、感放射線性組成物及びレジストパターン形成方法 |
摘要 |
本発明の環状化合物は、分子量500〜5000の、式(1)で示される環状化合物である。 |
申请公布号 |
JPWO2013073583(A1) |
申请公布日期 |
2015.04.02 |
申请号 |
JP20130544301 |
申请日期 |
2012.11.14 |
申请人 |
三菱瓦斯化学株式会社 |
发明人 |
越後 雅敏;山川 雅子 |
分类号 |
C07C43/215;C07C41/16;C07C43/23;G03F7/004;G03F7/038;H01L21/027 |
主分类号 |
C07C43/215 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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