发明名称 環状化合物、その製造方法、感放射線性組成物及びレジストパターン形成方法
摘要 本発明の環状化合物は、分子量500〜5000の、式(1)で示される環状化合物である。
申请公布号 JPWO2013073583(A1) 申请公布日期 2015.04.02
申请号 JP20130544301 申请日期 2012.11.14
申请人 三菱瓦斯化学株式会社 发明人 越後 雅敏;山川 雅子
分类号 C07C43/215;C07C41/16;C07C43/23;G03F7/004;G03F7/038;H01L21/027 主分类号 C07C43/215
代理机构 代理人
主权项
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