| 摘要 |
<p>泡立ちが少なく、切断性能が高い固定砥粒ワイヤーソー用水溶性切断液、それを用いた切断方法及びそのリサイクル方法を提供する。（ａ）テルペンアルキレンオキサイドブロックコポリマーと、（ｂ）グリコール、ポリアルキレングリコール、グリコールエーテル及びポリアルキレングリコールエーテルの少なくとも１種と、（ｃ）水とを含むことを特徴とする固定砥粒ワイヤーソー用水溶性切断液である。また、上記固定砥粒ワイヤーソー用水溶性切断液を用いて、固定砥粒ワイヤーソーによりシリコンのインゴットを切断することを特徴とするインゴットの切断方法及び固定砥粒ワイヤーソー用水溶性切断液のリサイクル方法である。</p> |
