| 摘要 |
流動反応によってクロロポリシランを得る際に、歩留まりを向上できるとともに副生し得る高次ケイ素塩化物の付着による閉塞を抑えたクロロポリシランの製造方法を提供すること。流動させたケイ素粒子またはケイ素合金粒子に塩素ガスを反応させてクロロポリシランを得る際に、反応槽１２内部において、ケイ素粒子またはケイ素合金粒子が流動する範囲よりも上側で、留出成分を留出させる留出口２０の手前に、流動によって舞い上がる微粒子が留出口２０から流出するのを抑える出口フィルター２２を設けるとともに、出口フィルター２２の温度を２１０〜３５０℃の範囲内に設定する。 |
